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Modellierung in der Mikrosystemtechnik

Zuverlässige Simulationswerkzeuge sind eine Voraussetzung für die Unterstützung des Entwurfs von Bauelementen und Systemen durch umfassende Modellierung auf allen Ebenen. Damit können bereits in einem frühen Entwicklungsstadium Funktions- und Designkonzepte bestätigt und ausgewählt werden. Vielseitige Entwurfsumgebungen werden hierfür eingesetzt, um physikalische und technologische Zusammenhänge darzustellen und einen effizienten Herstellungsprozess zu gewährleisten.
Der Workshop legt den Fokus auf Silizium- MEMS- und -MOEMS, erörtert mechanische und optische Simulationen sowie Multidomain-Modellierungen.
Dr. Peter Schneider (Fraunhofer IIS/EAS und Technische Universität Dresden) wird mit seinem Keynote-Vortrag “Herausforderungen und Perspektiven für die Entwicklung adaptiver mikroelektronischer Systeme" in die Problematik einführen und den Diskurs eröffnen.